美國瓦里安VARIAN分子泵

型號

Turbo-V81-M

Turbo-V81T

TwisTorr 304FS

抽速 l/s

DN40

DN63

DN40

DN63

DN100

DN160

氮氣

氬氣

氦氣

氫氣

50

48

56

46

77

70

65

50

50

56

46

77

65

50

 250

 250

 255

220

250

250

255

220

極限壓強mbar

5×10^-10

5×10^-10

5×10^-9

5×10^-9

<1×10^-10

<1×10^-10

進氣口法蘭

ISO63/CF4

KF40/CF2

CFF4.5″O.D.ISO63

CFF2.75″O.D.KF40

CFF8″O.D.ISO 160

CFF6″O.D.ISO 100

 輸入功率

 210W

210W

300W

輸出功率

100W

100W

150W

輸入電壓

100-240V

100-240V

100-240V

 重量kg

ISO:2

CF:2.98

ISO63:1.82

CF:2.68

型號

Turbo-V551

Turbo-V2300

抽速 l/s

DN100

DN160

DN250

氮氣

氬氣

氦氣

氫氣

350

450

450

550

600

510

2050

1800

1500

極限壓強mbar

<1×10^-10

<1×10^-10

1×10^-10

進氣口法蘭

ISO160/CF6″

ISO160-F/CF8″

ISO 250F

CFF12″O.D

 輸入功率

 600W

1300W

輸出功率

325W

560W

輸入電壓

100-240V

100-240V

 重量kg

ISO:19.4

CF:23.4

ISO250:54.2

CF12″:55.3